Sur un substrat isolant (figure ) de quelques centaines de micromètres d'épaisseur, on dépose alternativement des anodes et des cathodes (d'une longueur pouvant atteindre quelques dizaines de centimètres). Les anodes, d'une dizaine de micromètres de large, sont espacées d'environ 200
, les cathodes ont une centaine de micromètres de large. Un plan de dérive placé à quelques millimètres au-dessus du plan des pistes définit le volume actif dans lequel circule le gaz.
La face arrière du substrat peut être métallisée et généralement mise à un potentiel de 0 V. Les anodes sont reliées à la masse tandis que les cathodes et le plan de dérive sont portés à un potentiel négatif. Excepté au voisinage des pistes, les lignes de champ (crées par ces différences de potentiel) sont parallèles et le champ électrique est uniforme (figure ).