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Caractéristiques des pistes

Le substrat est fortement dopé p au niveau des pistes pour une tension de désertion aussi faible que possible. Il est aussi fortement dopé n sur la face arrière (du substrat) de façon à minimiser le bruit. Les pistes sont recouvertes de un ou deux micromètres d'aluminium pour collecter rapidement et efficacement les charges, ce qui assure un bon contact entre ces pistes et l'électronique de lecture. Une couche d'oxyde de silicium de quelques micromètres d'épaisseur entre la zone p et le métal des pistes (le couplage AC) permet de réduire la capacité interpiste et d'augmenter la stabilité du détecteur pour une collection plus efficace des charges. Par ailleurs, une valeur de 0,25 pour le rapport largeur des pistes sur le pas des pistes permet un faible bruit.

Une résistance polysilicium de quelques M$\Omega$ entre les pistes et l'alimentation garantit une bonne uniformité et une chute de tension négigeable, ce qui contribue à minimiser le bruit.



Stephanie Moreau
2003-04-09